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X-RAY檢測半導體晶圓

2021-06-13 20:17:59 

X-RAY檢測晶圓IC項目包括:

檢測焊線和焊線范圍

檢測處理器封裝內的3D IC焊點(微型凸塊、銅柱、硅穿孔(TSV))

IC2

芯片

IC

CT1

TSV硅通孔CT圖

通過X-RAY檢測技術查找裂痕、虛焊或氣泡十分重要。此外,測量氣泡尺寸及其分布情況也至關重要。為促進改善生產流程,檢測任務均需要自動完成。
德國YXLON X-RAY和3D CT斷層掃描檢測系統可針對晶圓進行高分辨率的3D無損檢測。

CheetahEVO

德國YXLON X-RAY以穿透能力強,圖像高清晰、放大倍數大、操作方便快速等鮮明特點而著稱,在半導體行業知名度和市場占有率高。客戶有:中芯國際、長電集團、長江存儲、華為、比亞迪、日月光、賽意法


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