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德國YXLON X-RAY為半導(dǎo)體晶圓檢測的首選設(shè)備

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瀏覽:- 發(fā)布日期:2021-06-06 21:45:50【

眾所周知,X-RAY檢測半導(dǎo)體的晶圓,典型檢測項目包括:鍵合線和鍵合區(qū)域的測試,3D IC焊點測試包括微凸點、銅柱、硅通孔(TSV)。

芯片

晶圓圖

鍵合芯片

德國YXLON X-RAY以成像清晰、穿透力強、做3D CT(斷層掃描)時間短、高分辨率和高放大倍數(shù)的特點,得到半導(dǎo)體業(yè)界的一致好評,廣為流傳,在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)市場占有率超過70%,德國YXLON X-RAY已成為半導(dǎo)體晶圓檢測的首選設(shè)備。

Cheetah EVO外形

以下是檢測產(chǎn)品的實際圖片。

晶圓圖2

TSV硅通孔CT圖

通過德國YXLON X-RAY檢查發(fā)現(xiàn)裂紋、開放焊點或空隙非常重要。此外,孔徑大小及其分布的測量也很關(guān)鍵。其中許多檢查都是自動執(zhí)行的,以改進生產(chǎn)過程。

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